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ZYFB-3600渦輪分子泵

技術(shù)參數(shù)表

型號

ZYFB-3600   進(jìn)氣口法蘭

400 ISO-K    排氣口法蘭

100 ISO-K

抽氣速率(L/S)(對空氣)  3600

壓縮比

N2>108  H2>6X102

極限壓強(qiáng)(Pa)<2×10-6

額定轉(zhuǎn)速(rpm)12600

使用軸承

進(jìn)口陶瓷軸承

振動值≤0.15μm

啟動時(shí)間(min)<10

停機(jī)時(shí)間(min)<20

建議采用的前級泵（L／S）30

冷卻方式     水冷

冷卻水溫度（℃）≤20

冷卻水流量(L/min)1

泵體烘烤溫度（℃）<80

環(huán)境溫度（℃）5-40

安裝方向

垂直±5°

泵重量(kg)≈100

ZYFB-3600渦輪分子泵

是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運(yùn)動從而獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。